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真空フランジ
超高真空対応のフランジ
真空装置においてチャンバーとポンプや各部品を接続する、シール機能を持った接続部品です。ガスケットを挟み込み変形により閉じ込めることによりシールを行います。長時間の締め付けやペーキングの繰り返しによって、リークを起こし難いという特徴があり、超高真空領域まで排気を必要とする真空チャンバーに多く使用されています。
※在庫品は即納可能です。寸法はこちらのカタログ(PDF)をご覧下さい。
| S-band矩形フランジ |
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標準品 スラックタイプ |
| X-band矩形フランジ |
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標準品 スラックタイプ |
| 変心フランジ |
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特注品 φ370 変心加工 |
バナースペース
株式会社オオツカ
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