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真空フランジ

超高真空対応のフランジ

 真空装置においてチャンバーとポンプや各部品を接続する、シール機能を持った接続部品です。ガスケットを挟み込み変形により閉じ込めることによりシールを行います。長時間の締め付けやペーキングの繰り返しによって、リークを起こし難いという特徴があり、超高真空領域まで排気を必要とする真空チャンバーに多く使用されています。

※在庫品は即納可能です。寸法はこちらのカタログ(PDF)をご覧下さい。



S-band矩形フランジ
標準品
スラックタイプ


X-band矩形フランジ
標準品
スラックタイプ


変心フランジ
特注品
φ370 変心加工

                







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